By Andreas Stadler

Andreas Stadler entwickelt anhand ausgesuchter, verlässlicher Modelle (Swanepoel, Quantentheorie) neue, näherungsfreie und umfassende Modelle für die optoelektrische examine und Simulation von Dünnschichten und Solarzellen. Der systematische Zusammenhang von Messergebnissen gesputterter TCO- und Sulfid-Schichten sowie gänzlich in situ gesputterter Dünnschicht-Solarzellen aus diesen Materialien wird entlang der verwendeten Prozessparameter aufgezeigt.

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Mathematical Analysis Explained

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_ . _ . _ . ;. '.. / nm Abb. 1 für a) einen 2 Zoll n·dotierten Silizium Wafer und b) ein Bor·Silikat·Glas. Zu sehen sind die e"" kten Werte nach GI. 11) sowie die Näherungen nach GI . 12). GI. 15) (transparent Schichten) und GI. 16) (opake Schichten). R und Imaginörteile n" u der Brechungsindizes n

Damit Dies ents pricht GI. 6) C = AV = 1 / ji;;;, mit wurde gezeigt, dass die verwendeten Telegraphengleichungen auch für ausschließlich zeitabhä ngige Dielektri zitätsko nst ant en gültig bleiben. Für alle weiter en Orts- und Zeitabhängigkeiten der physikalischen Größen : elekt rische Leitfähigk eit und o-(r ,/), spez ifische r elekt rische r Wider stand p(r ,/), Induktionskon stante Jl(r,/) &(r ,t ) = &(r ) be halten die Telegr aphengleichungen nicht Dielektrizitätskonstante zwinge nd diese einfache Form, vgl.

Messb ar sind hier im Allgem ein en, da a uss e rhalb der Schicht zugä ngig, die gesamte Reflexion RSch unter Verwendung ein er Int egr ationskug el und die gesamte Transmi ssion TSch. 2) 100% = 1 = A Sch = 1- R Sch + A Sch + T sch ' »; + T sch} Im Falle von Reflexion Rsa, und Transmission TSch bleibt die optische Energie au ch als solch e erhalten und kann gem essen werden. Lediglich die absorbierte optische Energie wird in elektrisch e- und Wärmeen ergi e umg ewandelt. Da die Absorption vo n Photonen ohn e Beschränkung der Allgemeinheit au sschli eßli ch im Volum en der Schicht e rfolgt, kann für den gesamten Absorptionskoeffizienten der Schicht analog zu GI.

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